Delta系列 光学薄膜厚仪
产品特点
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
应用领域
技术参数
型号
Delta-VIS
Delta-DUV
Delta-NIR
波长范围
380-1050nm
190-1100nm
900-1700nm
厚度范围
50nm-40um
1nm-30um
10um-3mm
准确度1
2nm
1nm
10nm
精度
0.2nm
3nm
入射角
90°
样品材料
透明或半透明
测量模式
反射/透射
光斑尺寸2
2mm
是否能在线
是
扫描选择
XY可选
注：1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。
2. 可选微光斑附件。
